1. 什么是質(zhì)量流量計？什么是質(zhì)量流量控制器？
質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
2. 質(zhì)量流量控制器的原理是什么？
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理如圖2所示。
圖1.質(zhì)量流量控制器內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖
圖2.質(zhì)量流量控制器原理
3. 質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位是什么？
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內(nèi)計量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會制定的SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的詳細(xì)情況見:“SEMI E12-96”, 標(biāo)準(zhǔn)文件的局部如圖3所示。
4. 什么情況下用質(zhì)量流量計, 什么情況下用質(zhì)量流量控制器 ?
一般而言，僅對流量進(jìn)行計量或監(jiān)測時，用質(zhì)量流量計；需要對流量進(jìn)行控制時，用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細(xì)管流通能力的測量,當(dāng)定壓測流的時候, 用質(zhì)量流量計; 當(dāng)定流測壓時, 需要用質(zhì)量流量控制器。注意, 當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時, 也可以當(dāng)質(zhì)量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。
5. 質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？
(1) 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。
(2) 測量控制的自動化
質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機(jī)管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計算機(jī)連接, 進(jìn)行自動控制。
(3) 精確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品較小流量范圍可達(dá)0～5 sccm，較大流量范圍可達(dá)0～200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
6. 質(zhì)量流量計的缺點(diǎn)是什么? 使用質(zhì)量流量控制器的注意事項?
相對廉價的轉(zhuǎn)子流量計來說, 質(zhì)量流量計的就是價格稍微貴一些。
使用質(zhì)量流量控制器的注意事項：
一、若粉塵進(jìn)入流量計會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 在進(jìn)氣口前加裝氣路過濾器，或者選用此類環(huán)境專用型質(zhì)量流量控制器。
二、液體和油污進(jìn)入MFC, 會造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流。
三、使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理。專用于此類環(huán)境專用型質(zhì)量流量控制器。
第四、在使用強(qiáng)腐蝕性、易燃易爆、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴(yán)重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是重要的。專用于此類情況的質(zhì)量流量控制器
7. 質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是什么?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于低值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于高值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
8. 質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍(見圖4的高壓工作示意圖)。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
9. 使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源(如用丙酮等), 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時, 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露, 可以對管路和MFC適當(dāng)加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。
10. 質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 有機(jī)溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡膠; 三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等——需要采用全氟橡膠。
專用于此類情況的質(zhì)量流量控制器
11. 選擇產(chǎn)品和訂貨時應(yīng)當(dāng)注意什么？
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應(yīng)當(dāng)全面衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。（成都四洋科技有限公司是一家真空測量與流體控制類產(chǎn)品，集銷售、服務(wù)于一體的高科技公司）
(2) 注意選擇正確的量程
A. 將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。
B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮?dú)猓?biāo)定氣體）等價的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標(biāo)定，請向廠家說明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問題，以下還有進(jìn)一步解答。
C. 確定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程，您實(shí)際使用的流量較大值應(yīng)接低于某個標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過大或過小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實(shí)際流量較小而量程值選取過大，則測量值的相對誤差較大。
(3) 注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)
不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同，注意選擇適合自己的產(chǎn)品。
質(zhì)量流量控制器（MFC）除較大工作壓力之外，還有另一項工作壓力指標(biāo)：工作壓差，即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差，選型時要注意，使用時也要注意。
(4) 注意選擇合適的精度指標(biāo)
準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項指標(biāo)，其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場合尤為重要。指標(biāo)不一定追求高，應(yīng)考慮自己的實(shí)際需要。
如果對廠家給出的指標(biāo)不放心，有條件的用戶也可以自己標(biāo)定一下。標(biāo)定的方法參見下面的有關(guān)內(nèi)容。
(5) 注意選擇合適的響應(yīng)時間指標(biāo)
有的應(yīng)用系統(tǒng)對MFC的響應(yīng)時間有較高的要求，用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時間指標(biāo)的同時，還應(yīng)注意其響應(yīng)過程及動態(tài)特性。
(6) 注意對安裝位置有無要求
有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。
(7) 注意使用氣體和適用范圍
MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。
(8) 注意接頭形式
通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于高端應(yīng)用。
(9) 訂貨應(yīng)注明：
產(chǎn)品名稱、型號、流量規(guī)格、標(biāo)定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數(shù)量。
12. 買質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器時，其它配套產(chǎn)品有哪些？
一般需要流量顯示儀與之配套使用。流量顯示儀為MFM/MFC提供工作電源，進(jìn)行流量顯示，對MFC進(jìn)行流量設(shè)定操作。如果將MFM/MFC直接和PLC測控系統(tǒng)相連，視情況也可以不配流量顯示儀。
另外根據(jù)系統(tǒng)的需要可以選購截止閥﹑過濾器﹑干燥器﹑單向閥﹑管接頭﹑減壓器﹑背壓閥等。
13. 怎樣選擇流量顯示儀表？
有單通道（配接一臺MFM/MFC）和多通道（2/34通道的，配接多臺MFM/MFC）產(chǎn)品；可臺式和機(jī)箱式安裝；有輸入輸出只能是電壓信號的，也有電壓和電流信號都行的；產(chǎn)品使用交流220V電源，流量顯示儀表附帶電腦軟件，支持PC端查看實(shí)時流量和累計流量。流量顯示儀產(chǎn)品查閱
將流量顯示儀安裝在機(jī)柜上的用戶，請注意安裝的開孔尺寸。
14. 流量顯示的單位有哪些？
按 SCCM或 SLM顯示，出廠時對流量顯示范圍與相應(yīng)的MFM/MFC的量程進(jìn)行匹配，使用時顯示值即是流量值，很直觀，符合習(xí)慣，為多數(shù)用戶所采用。 匹配好后，原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是顯示值需要修正，見下述有關(guān)問題。
15. 一定要按實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示嗎？
不一定。按實(shí)際實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示，顯示的是實(shí)際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實(shí)際應(yīng)用場合，只需要找到一個合適的流量參數(shù)并保證測量和控制的重復(fù)性，至于該氣體的實(shí)際質(zhì)量流量是多少，用戶并不是特別關(guān)心。在這種情況下，您直接使用廠家的標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（氮?dú)鈽?biāo)定顯示）也可以。當(dāng)然，如前面所提到的，您在選定流量規(guī)格時，需要換算一下，以選擇合適的量程。對于某些用戶，同一個產(chǎn)品有時可能會通不同的氣體，這種情況下，直接使用氮?dú)鈽?biāo)定出廠的產(chǎn)品更方便。
16. 怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算？
產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定﹑按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體，當(dāng)流量檢測值相同時，實(shí)際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標(biāo)定氣體（氮?dú)猓┑馁|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。
如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（按氮?dú)鈽?biāo)定顯示），而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量時，先在產(chǎn)品說明書中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測量過程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量；反之，在確定所購產(chǎn)品的量程時，以實(shí)際使用氣體的較大期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品，不必?fù)Q算。
17. 不同氣體的流量轉(zhuǎn)換系數(shù)是怎樣得出來的? 混合氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)如何計算?
氣體的流量轉(zhuǎn)換系數(shù)理論上取決于該氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度和比熱, 以及氣體的分子構(gòu)成系數(shù)。常用的單組份氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)可在廠家產(chǎn)品技術(shù)說明書中查得；如果知道該氣體的密度和比熱, 也可以用下面的基本公式計算出來。
氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)C的基本公式：
C=0.3106 N /ρ(Cp)
其中：
ρ——為氣體的密度
CP——為氣體的定壓比熱
N ——為氣體分子構(gòu)成系數(shù)（與該氣體分子構(gòu)成的組份有關(guān), 見下表）
氣體分子構(gòu)成系數(shù)表
| 氣體分子構(gòu)成 | 舉 例 | N 取 值 |
| 單原子分子 | Ar He | 1.01 |
| 雙原子分子 | CO N2 | 1.00 |
| 三原子分子 | CO2 NO2 | 0.94 |
| 多原子分子 | NH3 C4H8 | 0.88 |
如果是多組份混合氣體（假定由n種氣體組成），按下列公式計算其轉(zhuǎn)換系數(shù)C：
0.3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ··· + Nn (ωn/ωT )]
C = ————————————————————————
ρ1Cp1 (ω1/ωT )+ ρ2Cp2 (ω2/ωT )+ ··· + ρnCpn (ωn/ωT)
| 其中 : | ω1 …ωn | ——為相應(yīng)氣體的流量 |
| ωT | ——為混合氣體的流量 | |
| ρ1…ρn | ——為相應(yīng)氣體的密度 (數(shù)值見產(chǎn)品技術(shù)說明書) | |
| CP1…CPn | ——為相應(yīng)氣體的定壓比熱 (數(shù)值見產(chǎn)品技術(shù)說明書) | |
| N1 … Nn | ——為相應(yīng)氣體的分子構(gòu)成系數(shù) |
注意: 如果混合氣體的混合比例不固定, 將無法計算出轉(zhuǎn)算系數(shù)。
18. MFM/MFC的使用方面有什么注意事項？
(1)注意閱讀產(chǎn)品說明書及有關(guān)資料
(2) 注意輕拿輕放妥善保管
MFM/MFC比較精密，應(yīng)避免受到撞擊和強(qiáng)烈振動。產(chǎn)品不用時注意放在較好的環(huán)境中妥善保管。
(3) 注意系統(tǒng)設(shè)計
用戶購買MFM/MFC后，往往要組建一個系統(tǒng)。建議在系統(tǒng)設(shè)計時，不要僅僅考慮功能的實(shí)現(xiàn)，還要考慮系統(tǒng)的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護(hù)性﹑易擴(kuò)充性等因素。以下給出幾點(diǎn)具體建議：
A. 注意加裝過濾器，以凈化氣源，延長MFM/MFC的使用壽命。
B. 對于反應(yīng)系統(tǒng)，建議在MFC的出氣端加裝單向閥，以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞 MFC。
C. 對于高壓系統(tǒng)，應(yīng)在MFC的下游加裝背壓閥（或其它節(jié)流裝置）及壓力表，以便于保證MFC的工作壓差。
D. 對于硅烷這樣的遇空氣易形成結(jié)晶的氣體，應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性（檢漏時不要忽視減壓器），必要時設(shè)計吹洗旁路，隨時進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蛘龎罕３帧?/p>
E. 對于要求比較高的氣路系統(tǒng), 注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。對于使用有害氣體的系統(tǒng)，必須嚴(yán)格檢漏。氣路柜應(yīng)有排風(fēng)系統(tǒng), 防止對人員和設(shè)備的損傷。
F. 有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題，例如采用單點(diǎn)接地。
G. MFM/MFC的安裝位置應(yīng)易于裝卸﹑檢測﹑調(diào)零，并安全可靠。
H. 對可靠性要求極高的系統(tǒng)，應(yīng)注意冗余設(shè)計。
(4) 注意正確使用操作
對于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用有害氣體的系統(tǒng)，應(yīng)當(dāng)制定完善的安全操作規(guī)程, 防止發(fā)生誤操作。
(5) 注意使用氣體與流量計的密封材料相適應(yīng)
流量計通常采用的密封材料是氟橡膠，能適合大多數(shù)氣體的使用，包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕性氣體。但對于氨氣，必須使用耐氨橡膠；對于有機(jī)溶劑類氣體，如丙酮、甲苯等，必須使用硅橡膠；對于使用三氯化硼、三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，必須使用四氟密封或金屬密封的流量計。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。
(6) 注意定期標(biāo)定
質(zhì)量流量計原則上應(yīng)當(dāng)定期標(biāo)定。
19. 能不能改MFM/MFC的量程和氣體？改量程應(yīng)注意什么？
更改MFM/MFC量程需要更換分流器閥口等部件, 還要進(jìn)行量程標(biāo)定, 因此用戶不能自己更改氣體、量程。當(dāng)然國外進(jìn)口品牌，也有多量程多氣體型的質(zhì)量流量控制器，支持用戶現(xiàn)場更改，不過價格非常高昂。
改量程一般應(yīng)在生產(chǎn)廠或指定維修站進(jìn)行。如果您覺得量程沒選好，應(yīng)與供貨商和廠家聯(lián)系。
改MFM/MFC量程時, 還要注意您的流量顯示儀是否也要調(diào)整。如果流量是按百分比方式顯示的，則顯示儀不用改動；如果流量是按SCCM或SLM顯示的，則一般需對流量顯示儀進(jìn)行調(diào)整，以適應(yīng)新的流量量程。也可以不調(diào)整流量顯示儀，只對流量顯示值乘以一個修正系數(shù)進(jìn)行修正:
修正系數(shù) = 新滿量程值 / 原滿量程值。
改流量顯示儀的問題，請仔細(xì)閱讀有關(guān)流量顯示儀的說明書, 如果有改量程的說明, 可自己按要求更改。若沒有說明, 請和廠家聯(lián)系。
20. 模擬式MFC怎樣和計算機(jī)相連接？
計算機(jī)可以直接和MFC相連，也可以通過流量顯示儀和MFC相連。
對于模擬的MFC, 一般需要在計算機(jī)上配A/D﹑D/A轉(zhuǎn)換板, 模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換用于接收流量測量值, 數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換用于給出0-5VDC流量設(shè)定信號，這種轉(zhuǎn)換板在工業(yè)控制產(chǎn)品市場上很容易買到；如果是MFC直接與計算機(jī)連接，需要用戶自己提供±15V電源（要求電源抗干擾能力要強(qiáng)）；將“設(shè)定”線接計算機(jī)D/A輸出；將“流量檢測”線接計算機(jī)A/D輸入端；MFC信號地與計算機(jī)信號線連結(jié)即可。
如果MFC通過流量顯示儀與計算機(jī)連接，將流量顯示儀的“外設(shè)”線接計算機(jī)D/A輸出；將“流量檢測”線接計算機(jī)A/D輸入端；顯示儀的信號地與計算機(jī)信號線連結(jié)即可。
當(dāng)然, 另外還需要配相應(yīng)的軟件。
21. 數(shù)字化質(zhì)量流量控制器有些什么特點(diǎn)?
數(shù)字化質(zhì)量流量控制器起源于上世紀(jì)八十年代末期, 現(xiàn)在在國外, 有逐步普及的趨勢。我公司主要型號同時支持RS485數(shù)字通訊和模擬量通訊。
數(shù)字化質(zhì)量流量控制器有兩種類型, 一種是數(shù)字模擬兼容產(chǎn)品, 一種是全數(shù)字化產(chǎn)品。數(shù)字模擬兼容類產(chǎn)品采用與模擬流量計一樣的±15V或+11~+30Vdc電源, 輸入輸出信號除了有模擬的+5VDC信號外, 還具有RS232/RS485串行通訊口。數(shù)字模擬兼容的MFC當(dāng)設(shè)置為模擬式時, 可以直接替換模擬式MFC, 無需做其它更改。全數(shù)字化類型產(chǎn)品通常采用24VDC單電源, 沒有模擬輸入輸出信號, 只有現(xiàn)場總線通訊信號。
數(shù)字化質(zhì)量流量控制器內(nèi)置MCU多功能微處理器, 可以對采集到的流量信號進(jìn)行數(shù)字化處理, 進(jìn)行溫度線性校正, 具有比模擬式產(chǎn)品更高的精度和線性性能。數(shù)字化的PID控制功能, 能提高穩(wěn)定性和智能化地改變響應(yīng)特性。串行通訊, 使MFC更便于進(jìn)行計算機(jī)系統(tǒng)控制。數(shù)字化智能化的MFC逐步替代全模擬的MFC, 這是技術(shù)發(fā)展的必然潮流。
